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选用螺杆真空泵要考虑些什么要素

2019/6/1    来源:    作者:  浏览次数:307

  选用螺杆真空泵要考虑以下要素。螺杆真空泵的作业压强应该满意真空设备的极限真空及作业压强要求。如:某真空枯燥工艺要求10mmHg的作业真空度,选用的螺杆真空泵的极限真空度至少要2mmHg,最好能到达1mmHg。



  一般挑选泵的极限真空度要高于真空设备作业真空度半个到一个数量级。螺杆真空泵在其作业压强下,应能排走真空设备工艺过程中发生的悉数气体量。正确地组合螺杆真空泵。因为螺杆真空泵有挑选性抽气。

  因此,有时选用一种泵不能满意抽气要求,需求几种泵组合起来,相互弥补才干满意抽气要求。如钛提高泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有必定的抽速。

  两者组合起来,便会使真空设备得到较好的真空度。别的,有的螺杆真空泵不能在大气压下作业,需求预真空;有的螺杆真空泵出口压强低于大气压,需求前级泵,故都需求把泵组合起来运用。
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