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设计真空泵的抽气管要遵循些什么

2019/5/11    来源:    作者:  浏览次数:294

  设计真空泵的抽气管要遵循的原则如下。为一个工艺挑选真空泵时,工艺室和泵之间的抽气管道或许和泵的挑选相同重要。要使腔体抽气速率到达较大,需求垂直的抽气管道(长度短)并运用直径尽或许大的管道。



  看起来好像很简略,可是这里有许多要素需求考虑。实际上,假如咱们从物理学视点考虑,就能够清晰哪些是要害要素。在安稳状况的条件下,假如抽气管道内没有气源(走漏)或气体削减(冷凝),抽气管道任何截面的质量流量有必要相同。简略而言,进入工艺室的气体有必要从泵出来。

  已知气体摩尔流量为M(公斤/摩尔)、抽气速率为S(立方米/秒)、压力为P(帕)、温度为T(开尔文),则质量流量计算如下:质量流量(公斤/秒)=(M*P*S)/(Ro*T)。Ro=通用气体常数。关于大多数抽气体系而言,气体温度(T)在抽气管道中不会明显削减,并且能够合理地假定为稳定的。

  在此情况下,抽气管道任何截面(P*S)的乘积(称为通量)相同。因为抽气管道的压力差是气体活动的推动力,可见压力(P)有必要在工艺室中为较高值,在泵进口为较低值。因为咱们假定通量稳定,可见抽气速率(S)在工艺室为较小值,在泵进口为较大值(等于泵速)。

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