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怎样才能减少真空泵出现漏气的情况

2019/5/6    来源:    作者:  浏览次数:187

  真空泵的结构是影响真空泵密封性和体系漏气率的要害,真空泵的结构合理与否,将直接影响体系的密封性和体系的漏气率。尽可能地防止呈现小曲率半径的死角,要润滑过渡查刹于打麈抛光、清洗打扫。



  抽暇管道、送气管道等与真空室相连接的管道,选用圆弧过渡,使气路四通八达,但要考虑清洗打扫的方便性。仔细规划真空室内各种连接件的结构,使气路疏通,防止气路阻塞。打磨抛光真空泵内外表,外表越亮光就越不易气体吸附,越简单取得真空。

  尽可能减小真空室的体积,缩短管路体系。密封方式可根据所需真空度的凹凸及实践工作需求挑选密封方式,关于人工晶体生长设备,一般需求的真空度在lO-3Pa以下,因而,无需选用金属密封。

  密封件原料的选用:真空度在lO-3Pa以下的真空泵,密封资料一般挑选橡胶密封圈即可满足要求。可是,考虑到实践工作条件的需求(真空室内温度可高达2300oC,密封部位进行水冷后,其温度在80oC左右,个别处温度可达100oC以上)。所以,要挑选比较抱负的密封圈资料。
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