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内部压缩型和外部压缩型螺杆真空泵的比较

2019/4/19    来源:    作者:  浏览次数:165

  螺杆真空泵是使用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而发生的吸气和排气效果的抽气设备,它是油封式真空泵的更新换代产品,能抽除含有很多水蒸汽及少数粉尘的气体场合,在国内制药、化工、半导体等对清洁真空要求较高的企业范畴得到广泛应用。



  对于外部紧缩型螺杆式来说,在外部紧缩型螺杆式规划中,运用一对等距螺杆。这使得内部紧缩减到最小,一起使得气体通路最短也最简略。这样,气体在泵体内逗留的时刻也最短。尽管这种规划因为减少了内部的紧缩比而使得其耗电量相对较高,但在许多杂乱的半导体工艺中表现出极高的稳定性。

  这种单级规划使得其对氮气用量的要求也十分小并且简略,这样就使得其在不同工艺中有很好的互换性。在许多清洁的工艺中乃至能够不必氮气。对于内部紧缩型螺杆式来说,除了运用一对非等距螺杆以外,内部紧缩型螺杆式规划和外部紧缩型螺杆式规划的基本原理十分类似。

  螺杆间容积的不断减小使得其内部发生紧缩。这种规划因为发生内部紧缩而使得其耗电量降低到同多级泵适当的水平。但在许多工艺中,这种内部紧缩同多级泵相同,极易形成气体在泵体内的物理化学变化而发生固化或液化。
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