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压缩型螺杆真空泵的特点

2019/4/5    来源:    作者:  浏览次数:171

  曩昔, 人们在各种半导体工艺中广泛使用油式真空泵,其间又以悬片式真空泵和活塞式真空泵为首要代表。而它们在各种使用中的体现越来越不能使人们感到满足。因而,干式真空泵应运而生。在曩昔的十多年里,有好几种不同类型的干式真空泵被规划和出产出来,它们在机械结构规划上有显着差异。



  压缩型螺杆真空泵的特点如下。外部紧缩型螺杆式:在外部紧缩型螺杆式规划中,运用一对等距螺杆。这使得内部紧缩减到最小,一起使得气体通路最短也最简略。这样,气体在泵体内逗留的时刻也最短。

  尽管这种规划因为减少了内部的紧缩比而使得其耗电量相对较高,但在许多杂乱的半导体工艺中表现出极高的稳定性。这种单级规划使得其对氮气用量的要求也十分小并且简略,这样就使得其在不同工艺中有很好的互换性。在许多清洁的工艺中乃至能够不必氮气。

  内部紧缩型螺杆式:除了运用一对非等距螺杆以外,内部紧缩型螺杆式规划和外部紧缩型螺杆式规划的基本原理十分类似。螺杆间容积的不断减小使得其内部发生紧缩。这种规划因为发生内部紧缩而使得其耗电量降低到同多级泵适当的水平。但在许多工艺中,这种内部紧缩同多级泵相同,极易形成气体在泵体内的物理化学变化而发生固化或液化。
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