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挑选真空泵要考虑什么

2019/4/3    来源:    作者:  浏览次数:170

  挑选真空泵要考虑什么?真空泵作业时发生的振荡对工艺进程及环境有无影响。若工艺进程不允许,应挑选无振荡的泵或许采纳防振荡办法。了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒尘埃,有无腐蚀性等。挑选真空泵时,需求知道气体成分,针对被抽气体挑选相应的泵。假如气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上设备辅佐设备,如冷凝器、除尘器等。



  真空泵在其作业压强下,应能排走真空设备工艺进程中发生的悉数气体量。正确地组合真空泵。因为真空泵有挑选性抽气,因此,有时选用一种泵不能满意抽气要求,需求几种泵组合起来,相互弥补才干满意抽气要求。

  如钛提高泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有必定的抽速,两者组合起来,便会使真空设备得到较好的真空度。别的,有的真空泵不能在大气压下作业,需求预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需求前级泵,故都需求把泵组合起来运用。

  真空设备对油污染的要求。若设备严厉要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。假如要求不严厉,能够挑选有油泵,加上一些防油污染办法,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能到达清洁真空要求。
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