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干式真空泵的优化选择

2019/3/27    来源:    作者:  浏览次数:140

  一直以来,运用本钱是一个影响人们挑选真空泵的重要因素。越来越多的真空泵用户意识到也应该将真空泵运转的安稳性考虑进去。由于真空泵的意外犯错会引起机器的运用功率下降,影响到晶圆的出产和交货期,乃至形成所加工晶圆的作废和机器其它部件的损坏。



  假如用户以为耗电量对他来说最为重要而氮气用量对他来说最不重要,那么内部紧缩型螺杆式能够一个好的挑选。但遍及说来,对尾气处理越来越严厉的要求使得将来对削减氮气的用量变得更重要。假如你期望用单一类型的泵不通过改动来处理各种不同的半导体工艺,而使得你的库存操控简单化,那么外部紧缩型螺杆式将是你最好的挑选。

  依据您所在的详细景象,归纳以上一切规划类型的长处一定是您最理想的挑选,但现在还不太可能。因而,这就要求运用者首要要知道在干泵的规划上有着如此多的不同规划类型,从而依据本身工艺特色了解各种不同类型泵的规划对其影响。

  这样,他做出的挑选才能够尽可能下降其运用本钱,而取得一个寿数较长的安稳的真空体系。今日,咱们已进入干式真空泵年代,同曩昔悬片和活塞油式真空泵年代比较,一个受过杰出训练的顾客在真空泵的挑选上起着无足轻重的效果。要知道,有如此多类型的干泵可供您挑选,而选一个最能和您的半导体工艺相匹配的类型是关键所在。
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