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挑选水环式真空泵不单单要考虑环境因素

2019/5/31    来源:    作者:  浏览次数:405

  水环式真空泵的作业压强应该满意真空设备的极限真空及作业压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的水环式真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg.一般挑选泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。



  挑选水环式真空泵不单单要考虑环境因素,还要考虑以下内容。正确地挑选水环式真空泵的作业点。每种泵都有必定的作业压强规模,如:分散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强规模内,泵的抽速随压强而改变,其安稳的作业压强规模为5×10-4~5×10-6mmHg。

  因此,泵的作业点应该选在这个规模之内,而不能让它在10-8mmHg下长时间作业。又如钛提高泵能够在10-2mmHg下作业,但其作业压强应小于1×10-5mmHg为好。水环式真空泵在其作业压强下,应能排走真空设备工艺过程中发生的悉数气体量。

  正确地组合水环式真空泵。因为水环式真空泵有挑选性抽气,因此,有时选用一种泵不能满意抽气要求,需求几种泵组合起来,相互弥补才干满意抽气要求。如钛提高泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有必定的抽速,两者组合起来,便会使真空设备得到较好的真空度。
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